आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव वाष्पीकरण ऑप्टिकल कोटर
आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव वाष्पीकरण ऑप्टिकल कोटर

आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव वाष्पीकरण ऑप्टिकल कोटर

यह अति-उच्च परिशुद्धता ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की तैयारी के लिए उच्च-स्तरीय उपकरण है। उच्च गुणवत्ता वाली ऑप्टिकल कोटिंग पर ध्यान केंद्रित करते हुए, इसमें बेहद कम बिखरने वाला मूल्य और दोष घनत्व होता है।
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आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव वाष्पीकरण ऑप्टिकल कोटर

 

विवरण

 

यह अति-उच्च परिशुद्धता ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की तैयारी के लिए उच्च-स्तरीय उपकरण है। उच्च गुणवत्ता वाली ऑप्टिकल कोटिंग पर ध्यान केंद्रित करते हुए, इसमें बेहद कम बिखरने वाला मूल्य और दोष घनत्व होता है। लेजर, ऑप्टिकल संचार, एयरोस्पेस, बायोमेडिकल, ऑटोमोटिव ऑप्टिक्स, एमईएमएस सेंसर और पैन सेमीकंडक्टर्स जैसे मांग वाले अनुप्रयोगों में उच्च परिशुद्धता कोटिंग उत्पादन के लिए उपयुक्त।

 

आवेदन

 

नीला कांच और सफेद कांच आईआर-कट, नीला कांच और सफेद कांच एआर, रेज़िन लेंस एआर, पेरिस्कोप समकोण प्रिज्म, आदि।

 

विशेषताएँ

 

  • बड़े पैमाने पर उत्पादन मानक मशीन
  • वास्तविक समय ऑनलाइन मॉनिटर
  • पूरी तरह से स्वायत्त ऑप्टिकल नियंत्रण
  • प्रक्रिया डिज़ाइन खोलें
  • राइज़ आरएफ आयन स्रोत: आयन बीम करंट सटीक और नियंत्रणीय है, लंबे समय तक लगातार काम करने के समय के साथ, विभिन्न कार्यशील गैसों के लिए उपयुक्त है, और फिल्म परत के लिए प्रदूषण मुक्त है।
  • अद्वितीय प्लाज्मा स्रोत: रेडियो फ़्रीक्वेंसी ड्राइव, उपभोज्य-मुक्त संचालन, शुद्ध ऑक्सीजन आयन प्रदान करना, विशिष्ट बैंड में उत्कृष्ट वर्णक्रमीय संकेतक सुनिश्चित करना।
  • प्रकाश नियंत्रित: प्रकाश नियंत्रित फिल्म निर्माण नियंत्रण सटीकता: 0.1-0.3%, एक अद्वितीय संरचना और कुशल ऑप्टिकल पथ डिजाइन के साथ, अल्ट्रा-हाई-स्पीड वर्णक्रमीय डेटा का वास्तविक समय संग्रह, और स्वतंत्र रूप से बुद्धिमान प्रकाश-नियंत्रित कोर एल्गोरिदम विकसित किया।
  • अभिनव नियंत्रण प्रणाली: ओपन मॉड्यूलर सिस्टम आर्किटेक्चर, एआरएम पर आधारित एक स्मार्ट नियंत्रण प्रणाली, अनुकूल मानव-मशीन इंटरैक्शन अनुभव, आईओटी और क्लाउड कंप्यूटिंग आर्किटेक्चर का समर्थन।

 

तकनीकी मापदंड

 

नमूना

OPIE1550

निर्वात कक्ष

SUS304, φ1550mmx1600mm(H)

वैक्यूम प्रणाली

4 आणविक पंप +1 यांत्रिक पंप/रूट पंप इकाई का सेट

वर्कपीस रैक
और वर्कपीस डिस्क

वर्कपीस डिस्क व्यास 1460 मिमी, रोटरी गति 0-30 आरपीएम

भाप स्रोत

इलेक्ट्रॉनिक बंदूकों के 2 सेट (दोहरी बंदूकें, दोहरी स्कैनिंग, दोहरी फिलामेंट, 270-डिग्री बीम विचलन कोण, पावर 10KW)

निक्षेपण प्रणाली

RISE रेडियो फ्रीक्वेंसी आयन स्रोत + विशेष प्लाज्मा स्रोत (वैकल्पिक)

नियंत्रण प्रणाली

वैक्यूम जमाव बुद्धिमान नियंत्रण प्रणाली

निगरानी प्रणाली

क्रिस्टल फिल्म मोटाई निगरानी प्रणाली

विशिष्ट आवश्यकताओं, मानक विन्यास के अनुसार कॉन्फ़िगर किया गया

ऑप्टिकल पतली फिल्म वास्तविक समय निगरानी प्रणाली

स्व-विकसित ऑप्टिकल नियंत्रण प्रणाली (विस्तृत स्पेक्ट्रम, एकल तरंग दैर्ध्य) वैकल्पिक

गहरी शीतलन प्रणाली

कंप्रेसर पावर 10 किलोवाट, कुंडल ठंडा करने का तापमान<-130°C

 

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