आयन बीम नक़्क़ाशी तकनीक एक अति सूक्ष्म प्रसंस्करण तकनीक है जो 20वीं सदी के 70 के दशक में उप-माइक्रोन लाइन चौड़ाई की दिशा में ठोस उपकरणों के विकास के साथ उभरी, जो स्ट्रिप करने के लिए ठोस सतहों पर आयन बीम बमबारी के स्पटरिंग प्रभाव का उपयोग करती है। संसाधित डिवाइस पर आवश्यक ज्यामिति।
मशीनिंग, रासायनिक संक्षारण, प्लाज्मा संक्षारण, प्लाज्मा स्पटरिंग और अन्य प्रक्रियाओं की तुलना में, आयन बीम नक़्क़ाशी में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
(1) यह संसाधित सामग्रियों के लिए गैर-चयनात्मक है, और कंडक्टर, अर्धचालक और इंसुलेटर सहित किसी भी सामग्री को खोदा जा सकता है।
(2) इसमें अति सूक्ष्म प्रसंस्करण क्षमता है। यह बहुत महीन खांचे पैटर्न को उकेरने में सक्षम है, जो माइक्रोन और सब-माइक्रोन रेंज में हैं, और यहां तक कि 0.008 μm जितनी छोटी रेखाएं भी उकेर सकता है।
(3) नक़्क़ाशी में अच्छी दिशात्मकता और उच्च रिज़ॉल्यूशन है। इसका नमूना निर्वात में एक कोलिमेटेड आयन बीम द्वारा प्रत्यक्ष रूप से बमबारी किया जाता है, जो एक दिशात्मक नक़्क़ाशी है जो रासायनिक गीले प्रसंस्करण में अपरिहार्य ड्रिलिंग और नक़्क़ाशी घटना को दूर कर सकता है, और नक़्क़ाशीदार पैटर्न का किनारा तेज और स्पष्ट है। उच्च संकल्प। सटीकता 0.1~0.01μm तक पहुंच सकती है, और सतह खुरदरापन 0.05μm से बेहतर है।
(4) लचीली प्रक्रियाशीलता और अच्छी पुनरावृत्ति। क्योंकि बीम घनत्व, ऊर्जा, घटना कोण, वर्कपीस टेबल की गति या रोटेशन की गति और आयन बीम के अन्य कामकाजी मापदंडों को स्वतंत्र रूप से और सटीक रूप से काफी विस्तृत श्रृंखला में नियंत्रित किया जा सकता है, विभिन्न नमूनों के लिए इष्टतम प्रसंस्करण की स्थिति प्राप्त करना आसान है , जो न केवल लाइन की साइड की दीवार के ढलान को नियंत्रित कर सकता है, बल्कि एक निश्चित फ़ंक्शन के अनुसार बदलने के लिए खांचे की गहराई को भी नियंत्रित कर सकता है (खांचे की गहराई जो एक निश्चित फ़ंक्शन के अनुसार बदलती है उसे गहराई भार कहा जाता है)।
(5) आयन बीम नक़्क़ाशी का नुकसान यह है कि इसमें थूके गए पदार्थों के पुन: जमाव (पुनः जमाव प्रभाव) की घटना होती है। इसे व्यवहार में लाने की जरूरत है।